[发明专利]一种正型感光性树脂组合物及其制备的固化膜与电子元件有效

专利信息
申请号: 202010536812.3 申请日: 2020-06-12
公开(公告)号: CN111522201B 公开(公告)日: 2023-03-10
发明(设计)人: 王治国;邵光强;白晨;姜雪松 申请(专利权)人: 江苏三月科技股份有限公司
主分类号: G03F7/039 分类号: G03F7/039;G03F7/022;C08G73/10
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 聂启新
地址: 214112 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种正型感光性树脂组合物及其制备的固化膜与电子元件,属于半导体技术领域。该正型感光性树脂组合物包括聚合物A和重氮萘醌化合物B,所述聚合物A为包含式(1)所示片段的聚酰胺酸和/或聚酰胺酸酯和/或聚酰亚胺;本发明形成的感光性薄膜具有优异的感光度、残膜率、解像力。
搜索关键词: 一种 感光性 树脂 组合 及其 制备 固化 电子元件
【主权项】:
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