[发明专利]一种自适应减摩纳米多相多层超硬薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202010539992.0 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111471972A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 阎红娟;张淑婷;司丽娜;刘峰斌;豆照良;杨晔;李鸿;李春阳 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人： | 尹春雷 |
| 地址： | 100043 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种自适应减摩纳米多相多层超硬薄膜及其制备方法，属于超硬薄膜技术领域。超硬薄膜由过渡层和工作层组成；过渡层位于基体与工作层之间，过渡层成分为TiN；工作层由若干层调制周期层组成，单层调制周期层由一层模板层和一层调制层组成，模板层成分为TaMeN，Me选自Mo、V、W元素中的一种或几种，调制层成分为TiSiN。采用溅射方法制备超硬薄膜，在基体上沉积TiN层作为过渡层；然后周期性交替沉积TaMeN层与TiSiN层。本发明具有结合强度高、高温切削时摩擦学性能好、硬度高等特点，可用于高速切削高温合金、钛合金刀具涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自适应 纳米 多相 多层 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方工业大学，未经北方工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010539992.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：盒子视觉检测机
- 下一篇：上顶挤出式煎药方法及设上顶式挤出机构的中药煎桶总成
- 同类专利
- 专利分类
