[发明专利]近红外傅里叶变换偏振光谱仪在审
| 申请号： | 202010540000.6 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN113804646A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 王玥;张凌云;王博雨;陈楠;冷兴龙;刘涛;李楠;赵丽莉;刘键;景玉鹏;何萌;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/359 | 分类号： | G01N21/359;G01J3/447;G01J3/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种近红外傅里叶变换偏振光谱仪，包括：激光干涉子系统及其探测单元、白光干涉子系统及其探测单元；所述激光干涉子系统及其探测单元包括激光器、分束器、动镜、探测器和传感器；所述白光干涉子系统及其探测单元包括光源、滤波片、斩波器、光阑、偏振器、补偿器、曲面反射镜、聚焦组件和锁相放大器。本发明使用偏振器，进行各向异性特征样品的红外光谱测量。在光路中加入精密针孔，限制光斑尺寸，滤去杂散光，探测光再经聚焦于探测器时可获得高对比度干涉图。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 傅里叶变换 偏振 光谱仪 | ||
【主权项】：
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