[发明专利]一种高精密恒温环境的热补偿模块及其控制方法在审

专利信息
申请号: 202010540032.6 申请日: 2020-06-12
公开(公告)号: CN111578418A 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 任泽峰;蔡贞贞 申请(专利权)人: 江苏博创翰林光电高科技有限公司
主分类号: F24F5/00 分类号: F24F5/00;F24F11/89;F24F13/30;F24F11/46;F24F11/64;F24F11/70;F24F3/16
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 金诗琦
地址: 214000 江苏省无锡市锡山区锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种高精密恒温环境的热补偿模块及其控制方法,所述热补偿模块包括温度传感器、流量传感器、控制器、PID调节器、继电器、制冷装置和加热装置;温度传感器的信号输出端与控制器的第一信号输入端相连,流量传感器与控制器的第二信号输入端相连,控制器的第一信号输出端与PID调节器的信号输入端相连,控制器的第二信号输出端与制冷装置的信号输入端相连,控制器的第三信号输出端与加热装置的信号输入端相连。所述控制方法是对散热设备加以降温处理,对吸热设备进行加热处理的控制手段。本发明对恒温洁净室中导致热不稳定和热不均匀的热敏感设备进行实时热补偿,使其始终处于热平衡状态,提高整个洁净室环境温度的均匀性和稳定性。
搜索关键词: 一种 精密 恒温 环境 补偿 模块 及其 控制 方法
【主权项】:
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