[发明专利]晶圆级偏振光学器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202010540880.7 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111694083A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 鞠晓山;李宗政;冯坤亮 | 申请（专利权）人： | 欧菲微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B1/10;G03F7/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘宁 |
| 地址： | 330200 江西省南昌市南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆级偏振光学器件及其制备方法，晶圆级偏振光学器件包括：基底，具有承载面，承载面具有第一方向和第二方向；多个沿第一方向阵列分布的直角三棱柱，设置在承载面，且与基底为一体式结构，每一直角三棱柱沿平行于第二方向的方向延伸，且具有第一表面和第二表面，第一表面垂直连接于承载面，第二表面连接第一表面和承载面，且与第一表面呈设定夹角，将基底和多个直角三棱柱设置为一体式结构，以使得在升降温曲线测试时直角三棱柱不会从基底上脱落，从而使得晶圆级偏振光学器件的结构稳定性较好，产品良率较高，耐用性较强，并且采用同一种材料一体成型，结构及制备工艺较为简单。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆级 偏振 光学 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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