[发明专利]钟罩内壁喷涂装置及其方法在审
| 申请号： | 202010541114.2 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111686982A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 王体虎;张宝顺;宗冰 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/06 | 分类号： | B05B13/06;B05D1/12;B05D3/02;B05D7/22 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 赵薇 |
| 地址： | 810000 青海省西*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钟罩内壁喷涂装置及其方法，涉及多晶硅装备技术领域，该钟罩内壁喷涂装置包括钟罩、冷气体动力喷涂组件以及加热组件；冷气体动力喷涂组件和加热组件均可往复移动地设于钟罩内，冷气体动力喷涂组件用于对钟罩的待喷涂内壁进行喷涂，加热组件用于对钟罩的待喷涂内壁进行加热，且加热组件对罩体的待喷涂内壁的加热温度可控。解决了现有技术中存在的在冷气体动力喷涂法中，由于基体多采用不锈钢，且不锈钢的硬度较大，对喷涂条件的要求较高的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 内壁 喷涂 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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