[发明专利]兼具高硬度和高韧性Zr-B-N纳米复合涂层及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010541310.X 申请日: 2020-06-15
公开(公告)号: CN111647851B 公开(公告)日: 2022-07-19
发明(设计)人: 王铁钢;许人仁;张雅倩;李壮;刘艳梅;曹凤婷 申请(专利权)人: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/35;C23C14/32;C23C14/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300222 天*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种兼具高硬度和高韧性Zr‑B‑N纳米复合涂层及其制备方法,属于纳米复合涂层制备技术领域。所述Zr‑B‑N纳米复合涂层包括非晶BN相和ZrB2晶相,其中ZrB2相沿(001)晶面择优生长。采用脉冲直流磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积Zr‑B‑N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力,镀膜前先通入Ar气,利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗,然后通入N2和H2的混合气体,沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶电源,将ZrB2靶连接到脉冲直流磁控溅射阴极,并在Ar、N2和H2的混合气氛中沉积Zr‑B‑N涂层。本发明涉及的Zr‑B‑N纳米复合涂层制备重复性好,并且容易工业化生产;制备出的Zr‑B‑N涂层具有较高的硬度和弹性模量,良好的耐磨性能,且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
搜索关键词: 兼具 硬度 韧性 zr 纳米 复合 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
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