[发明专利]一种溅射靶材回收处理装置及方法在审
| 申请号： | 202010543848.4 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111748693A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 吴景晖;徐超;宋彦明;姚力军 | 申请（专利权）人： | 宁波创润新材料有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C22B15/00;C22B21/00;C22B34/12;C22B34/24 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 郎祺 |
| 地址： | 315460 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射靶材回收处理装置及方法，包括炉体和炉体支架，所述炉体一侧设置有抽屉式炉门；所述炉体内设置有若干装料支架，靶材组件倾斜置于所述装料支架上，相邻两个所述靶材组件之间留有投影间隙；所述炉体上还设置有压力表、保护气体阀门、放气阀和真空泵，所述真空泵连通所述炉体内部；连通所述炉体内部且位于所述炉体下方设置有浇铸模具，所述炉体与所述浇铸模具的外表面包覆有保温层；所述炉体外壁和保温层之间设置有电阻丝加热带，所述电阻丝加热带与所述炉体外壁之间留有空隙，且所述电阻丝加热带嵌在所述保温层上，所述电阻丝加热带远离所述抽屉式炉门和浇铸模具设置。本发明实现同时回收靶材与背板材料，缩短工艺流程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 回收 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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