[发明专利]一种四面体非晶碳膜及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202010545871.7 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111647861A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 左潇;汪爱英;张栋;陈仁德;李昊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种四面体非晶碳膜及其制备方法与应用。所述四面体非晶碳膜的制备方法包括：对基体表面进行刻蚀处理；之后采用高功率脉冲磁控溅射技术，以石墨靶为靶材，在所述基体表面沉积形成四面体非晶碳膜，其中，高功率脉冲占空比为1％～5％，溅射功率为700～1000W，基体温度小于50℃，所述四面体非晶碳膜的结构中sp |
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| 搜索关键词： | 一种 四面体 非晶碳膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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