[发明专利]预热装置及预热方法

摘要

本发明公开一种预热装置及预热方法，预热装置包括预热腔、加热部和红外测温部，所述预热腔用于容纳所述被加热件，所述预热腔的顶部设有测温窗；所述红外测温部设置于所述预热腔之外，所述红外测温部与所述预热腔活动连接；在对所述被加热件预热前或进行预热时，所述红外测温部位于第一位置，所述红外测温部通过所述测温窗测量位于所述预热腔内的所述被加热件的温度；在所述被加热件的温度满足目标温度的情况下，所述红外测温部位于第二位置，所述红外测温部避让所述测温窗。上述技术方案提供的预热装置可以解决目前晶圆在预热过程中预热精度较低，且一旦目标温度发生变化，预热操作过程较为繁琐的问题。