[发明专利]一种三维集成的可编程光学滤波器

摘要

本发明公开了一种三维集成的可编程光学滤波器，包括衬底层、不透光层和倒装键合层，倒装键合层和衬底层分别为独立的芯片，在衬底层上制作第一级滤波器，在倒装键合层上制作第二级滤波器，第一级滤波器和第二级滤波器均为单级可调谐光学滤波器，单级可调谐光学滤波器由多个微环级联而成，相邻两级微环之间采用垂直耦合且相邻两级微环之间设有一层不透光材料。本发明利用三维集成技术，大幅度减少芯片占用面积；利用垂直耦合的方式，提高光的传输效率，有效减小高阶微环滤波器的传输损耗；两级滤波器分别制作在独立的芯片上，可以通过筛选测试以得到性能最佳产品，并能够使热光效应的热串扰降到最低。