[发明专利]一种显示基板的制作方法、显示基板及显示装置在审
| 申请号： | 202010548300.9 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111653522A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王文涛;史大为;王培;杨璐;段岑鸿;赵天龙;吴广鑫;王玲玲;赵东升;司晓文 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/12;H01L27/32;H01L51/52 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种显示基板的制作方法、显示基板及显示装置，涉及显示技术领域。本发明实施例提供一衬底基板；衬底基板包括显示区域，显示区域包括通孔区和围绕通孔区的隔离区；在衬底基板上的隔离区形成隔离结构；隔离结构包括设置在衬底基板上的栅极绝缘层以及设置在栅极绝缘层上的层间介质层；在隔离结构上形成钝化层；对隔离结构进行刻蚀，以使隔离结构远离衬底基板的第一表面在衬底基板的正投影位于钝化层靠近衬底基板的第二表面在衬底基板的正投影之内，从而使有机材料蒸镀时在钝化层与隔离结构接触的位置处断开，避免了通孔区的水氧通过有机材料传输到显示区域中的其它区域，也避免了采用金属隔离结构时出现隔离失效的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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