[发明专利]一种三氟磺酰胺金刚烷类光刻胶树脂单体及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010549355.1 申请日: 2020-06-16
公开(公告)号: CN111763160A 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 傅志伟;贺宝元;邵严亮;毛国平;余文清;薛富奎;刘司飞 申请(专利权)人: 徐州博康信息化学品有限公司
主分类号: C07C311/09 分类号: C07C311/09;C07C303/40;G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221327 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种三氟磺酰胺金刚烷类光刻胶树脂单体及其制备方法,三氟磺酰胺金刚烷类光刻胶树脂单体,包括以下结构通式:其中,R1包括C1~C12烷基、杂烷基或连接键;R2包括氢、卤素、C1~C12烷基或杂烷基;其制备方法,包括以下步骤:将三氟磺酰类化合物加入到氨基金刚烷醇类化合物和碱混合液中,反应得到三氟磺酰胺金刚烷醇类化合物;将三氟磺酰胺金刚烷醇类化合物与丙烯酸类化合物混合,经过酯化反应,纯化得到三氟磺酰胺金刚烷类光刻胶树脂单体。本发明合成的三氟磺酰胺金刚烷类光刻胶树脂单体具有抗溶胀、碱溶性和疏水性,制备方法简单方便。
搜索关键词: 一种 三氟磺酰胺 金刚 光刻 树脂 单体 及其 制备 方法
【主权项】:
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