[发明专利]一种柔性电容式压力传感器和柔性电容式压力阵列传感器

摘要

本发明提供一种柔性电容式压力传感器及柔性电容式压力阵列传感器，涉及传感器技术领域。柔性电容式压力传感器包括依次设置的上柔性基底、上电极、上绝缘胶层、压力敏感层、下绝缘胶层、下电极和下柔性基底。上柔性基底和下柔性基底为蚕丝膜或蚕丝/聚氨酯复合膜。压力敏感层为掺杂导电填充物的弹性体复合薄膜。通过导电填充物的加入使得压力敏感层的介电常数大大提高，由于介电常数在受压条件下发生改变，得到的压力传感器的灵敏度也有较大的提高，且稳定性更好。此外，本发明还提供柔性电容式压力阵列传感器，实现对柔性接触界面、曲面和不规则形状接触界面之间的接触交互作用力的感测。