[发明专利]半导体器件和制造半导体器件的方法在审

专利信息
申请号: 202010552109.1 申请日: 2020-06-17
公开(公告)号: CN112103290A 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 朴瑛琳;安世衡;姜相列;安敞茂;郑圭镐 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/108 分类号: H01L27/108;H01L21/8242;H01L49/02
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 翟然
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本公开涉及半导体器件和制造半导体器件的方法。该半导体器件包括:在衬底上的着落焊盘;在着落焊盘上并连接到着落焊盘的下电极,该下电极包括外部分和在外部分内部的内部分,该外部分包括第一区域和第二区域;在下电极上以沿着外部分的第一区域延伸的电介质膜;以及在电介质膜上的上电极,其中下电极的外部分包括金属掺杂剂,外部分的第一区域中的金属掺杂剂的浓度不同于外部分的第二区域中的金属掺杂剂的浓度。
搜索关键词: 半导体器件 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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