[发明专利]用于衬底的表面处理的方法和设备在审
| 申请号： | 202010552277.0 | 申请日： | 2014-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111549327A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | M.温普林格 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;H01L21/20;H01L21/762 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 卢江;刘春元 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于衬底的表面处理的方法和设备。本发明涉及如下方法，所述方法用于对衬底（1、1'）的至少主要地结晶的衬底表面（1o、1o'）的表面处理，使得通过所述衬底表面（1o、1o'）的非晶化在所述衬底表面（1o、1o'）处形成非晶层（2、2'、2"）其中所述非晶层（2、2'、2"）的厚度d＞0nm。此外，本发明涉及相应的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 表面 处理 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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