[发明专利]一种测量界面热阻的方法及系统有效
| 申请号： | 202010552454.5 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111537561B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 曹炳阳;华钰超 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N25/18 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杜阳阳 |
| 地址： | 100089 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量界面热阻的方法及系统，该方法包括：在样品表面加工金属电极组，金属电极组至少包括第一电极和第二电极，第一电极比第二电极宽；通过测量第一电极的3ω电压信号确定第一电极的3ω等效热阻；通过拟合第一电极的3ω等效热阻随薄膜厚度的变化斜率计算薄膜的本征热导率；通过测量第二电极上2ω电压信号确定第二电极的2ω等效热阻；根据第二电极的2ω等效热阻和薄膜的本征热导率确定基底的本征热导率；测量第二电极上3ω电压信号确定第二电极的3ω等效热阻；根据薄膜的本征热导率、基底的本征热导率和第二电极的3ω等效热阻确定薄膜与基底之间的界面热阻。本发明降低基底热导率的偏差，从而提高界面热阻的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 界面 方法 系统 | ||
【主权项】：
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