[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 202010553359.7 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN112179557B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 添田将;石原卓也;关根正志 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的压力传感器减少沉积物对压力传感器的膜片的影响。本发明具备：可动电极(104)，其形成于膜片(102)的可动区域(102a)内；以及固定电极(105)，其以与可动电极(104)相对的方式形成。膜片(102)的受压面呈惰性状态。膜片(102)的呈惰性的受压面呈不易吸附上测定对象气体的分子的状态。能够通过规定的表面处理使膜片(102)的受压面成惰性。通过表面处理，形成使膜片(102)的受压面成惰性的层，该层的存在使得膜片(102)的受压面成惰性。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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