[发明专利]一种提高金属产品蚀刻质量的方法有效
申请号: | 202010553376.0 | 申请日: | 2020-06-17 |
公开(公告)号: | CN111607794B | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 任忠平;尹国钦;陈绍文 | 申请(专利权)人: | 宁波福至新材料有限公司 |
主分类号: | C23F1/28 | 分类号: | C23F1/28 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人: | 魏峯 |
地址: | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种提高金属产品蚀刻质量的方法,包括:在常温下,将涂覆感光材料进行曝光处理的预蚀刻片,然后先在三氯化铁蚀刻液中蚀刻预蚀刻片厚度的三分之一,再在氢氟酸蚀刻液中蚀刻余下的预蚀刻片,即可。本发明在常温下先后仅采用三氯化铁和氢氟酸蚀刻,不需要额外加热,也不需要加入其它种类的蚀刻液,成本低,并且可以有效提高蚀刻质量,具有良好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 金属产品 蚀刻 质量 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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