[发明专利]一种控制系统和控制方法在审
| 申请号： | 202010555408.0 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111577644A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 宋永辉;蔡浩杰;徐伟;王兆丰 | 申请（专利权）人： | 上海松尚国际贸易有限公司 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00;F04D19/04;F04D25/16 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种控制系统和控制方法，属于工业设备技术领域，所述系统包括：预抽真空室、隔离阀、高真空计、高精度真空计、分子泵、气动阀、粗抽阀、前级压力计、干泵和截止阀；隔离阀连接分子泵和预抽真空室，用于隔离分子泵和预抽真空室；高真空计和高精度真空计容纳在预抽真空室中；气动阀与预抽真空室连通，用于控制向预抽真空室中充入气体；预抽真空室通过粗抽阀与系统泵连接；分子泵通过截止阀连接前级压力计和干泵。解决了现有技术中使用冷泵的情况下可能出现抖动，需要定期维护，成本高的问题；达到了可以减少抖动，降低作业人员的维护成本的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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