[发明专利]一种单向高电压瞬态电压抑制保护器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010555941.7 申请日: 2020-06-18
公开(公告)号: CN111668210A 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 张富生;许成宗;韩业星 申请(专利权)人: 上海韦尔半导体股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L21/82
代理公司: 深圳睿臻知识产权代理事务所(普通合伙) 44684 代理人: 张海燕
地址: 201210 上海市浦东新区上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明实施例一种单向高电压瞬态电压抑制保护器件,包括:一个第一导电类型的衬底;一个第二导电类型的第一外延层,第一外延层形成在衬底顶面上方;一个第二导电类型的半导体层,半导体层为形成于第一外延层顶面中的阱区或形成于第一外延层顶面上方的第二外延层;一组形成在半导体层顶面中的第二导电类型的第一注入区和第一导电类型第二注入区,第一注入区形成于第二注入区的外围,第一注入区和第二注入区之间水平间隔预定距离;一个位于第一注入区外围第一隔离槽,第一隔离槽形成于衬底、第一外延层和半导体层中,且在第一隔离槽中填充有绝缘材料。本发明实施例提供瞬态电压抑制保护器件的单向高工作电压瞬态电压抑制保护器件。
搜索关键词: 一种 单向 电压 瞬态 抑制 保护 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
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