[发明专利]一种电子轰击成像型光电器件及高速相机在审
| 申请号： | 202010556150.6 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111584332A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 刘玲玲;李刚 | 申请（专利权）人： | 西安中科英威特光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J31/08 | 分类号： | H01J31/08;H01J31/26;H01J31/50;H01L27/146;H01L27/148;H04N5/225 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 吴林 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区细*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及光电成像器件技术领域，公开了一种电子轰击成像型光电器件及高速相机，电子轰击成像型光电器件包括：真空容器，真空容器上设有光学输入窗，真空容器内设有：光电阴极，加速系统，调制系统，扫描系统，电势等位区，还包括半导体成像系统，用于对偏移后的电子束进行收集并成像，并对电子束的图像信息进行一定增益的放大。这种电子轰击成像型光电器件，能够实现一定倍率的光学图像增强功能，还能够进一步提升光电成像器件的分辨率以及信噪比等关键参数，同时能够进一步减小以此光电成像器件为核心的高速相机的体积以及重量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 轰击 成像 光电 器件 高速 相机 | ||
【主权项】：
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