[发明专利]基于磁耦合旋转的物理气相沉积设备有效
| 申请号： | 202010557163.5 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111455341B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 解文骏;宋维聪 | 申请（专利权）人： | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国(上海)自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于磁耦合旋转的物理气相沉积设备，包括腔体、支撑轴、主驱动模块、从动模块、主磁旋转模块、真空绝缘衬套、从动磁力旋转模块、托举环、加热器及遮蔽环；真空绝缘衬套位于底板内；主驱动模块和从动模块均位于底板的下部；主驱动模块包括主动齿轮及电机，电机与主动齿轮电连接；从动模块包括从动齿轮，从动齿轮位于主动齿轮的一侧且与主动齿轮啮合；主磁旋转模块位于从动磁力旋转模块的下方；从动磁力旋转模块通过与主磁旋转模块的磁耦合实现旋转；托举环位于从动磁力旋转模块的上部且与从动磁力旋转模块相连接；加热器固定于支撑轴的顶部；遮蔽环位于加热器的上方，用于承载晶圆。本发明有助于改善沉积薄膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 耦合 旋转 物理 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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