[发明专利]一种AlCrTiSiN/AlCrTiSiON多层复合涂层及其制备工艺有效
| 申请号： | 202010558249.X | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111549322B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 王铁钢;朱强;刘迁;张雅倩;刘艳梅;范其香 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心） |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AlCrTiSiN/AlCrTiSiON多层复合涂层及其制备工艺，属于复合涂层制备技术领域。所述AlCrTiSiN/AlCrTiSiON多层复合涂层是由单层AlCrTiSiN及AlCrTiSiON叠加而成。该复合涂层采用电弧离子镀膜技术制备，具体制备时，靶材选取金属Cr靶、AlCrSi靶、AlTiSi靶，辉光放电清洗和离子轰击清洗后先沉积CrN过渡层，最后通入相应的反应气体，分别制备工作层和表面防护涂层。本发明涉及的多层复合涂层制备工艺简单，并且容易工业化生产。制备出的涂层具有良好的耐热性能，适用于高速切削，提高加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 alcrtisin alcrtision 多层 复合 涂层 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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