[发明专利]数据处理方法及系统在审
| 申请号： | 202010558254.0 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111783404A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 解为梅 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F40/166 | 分类号： | G06F40/166;G06F16/14 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种数据处理方法，其用于将Design Gauge导出CD‑SEM量测数据与制程工艺和或量测图片建立对应关系，包括：从Design Gauge导出的.csv文件中提取量测点命名及量测点坐标；提取量测点的制程工艺信息重新构建量测值与晶圆对应的分布格式；从.csv文件获取原始量测图片文件名信息，将CD‑SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。本发明还公开了一种数据处理系统。采用本发明的对Design Gauge数据进行处理，避免了人工核查能通过系自动完成需求格式转换，极大地提高了工程师的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 数据处理 方法 系统 | ||
【主权项】：
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