[发明专利]一种薄膜晶体管器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202010559625.7 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113451413B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 肖守均;林子平;袁山富;李刘中 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/34 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 刘芙蓉;谢松 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管器件及其制备方法。所述薄膜晶体管器件中所述像素定义层被配置为阻挡由该像素定义层一侧射入的波长小于470纳米的光线，从而防止所述薄膜晶体管器件中的氧化物半导体层因受到波长小于470纳米的光照在沟道中生成较多的氧空位缺陷，进而能有效防止阈值电压负移，提高器件的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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