[发明专利]一种基于三维电容电感的低通滤波器及制备方法在审
| 申请号： | 202010561661.7 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111769808A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张卫;刘子玉;陈琳;孙清清 | 申请（专利权）人： | 复旦大学;上海集成电路制造创新中心有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H7/01 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，具体为一种基于三维电容电感的低通滤波器及制备方法。本发明的低通滤波器，其中的电容电感具有三维结构且同时集成在TSV内。该低通滤波器包括基板上的多组分开的电容电感，通过再布线电容和电感的电极，将电容、电感串联在一起，从电感端输入信号，从电容端输出信号；通过设计电容和电感参数、及再布线连接不同电容和电感调节低通滤波器频率。本发明能够有效缩小低通滤波器所占的面积，并且能够在三维集成中集成在芯片附近，有效地缩短互连延迟和缩小互连损耗，大大提高了集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 三维 电容 电感 滤波器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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