[发明专利]由甲基六氢化萘二酮合成的可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法在审

专利信息
申请号: 202010562350.2 申请日: 2020-06-18
公开(公告)号: CN111763147A 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 潘新刚;傅志伟;贺宝元;邵严亮;毛国平 申请(专利权)人: 徐州博康信息化学品有限公司
主分类号: C07C69/54 分类号: C07C69/54;C07C67/14;C08F222/14;G03F7/004
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221327 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了由甲基六氢化萘二酮合成的可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法,提供一种新的树脂单体,其结构式如下所示:其中R1为饱和烷烃或者环烷烃,R2为氢或者甲基,其合成方法为:在惰性气体保护下,(4as,8ar)‑4a‑甲基六氢化萘‑2,7(1H,3H)‑二酮(Ⅰ)与烷基格氏试剂或者环烷基格氏试剂反应得到中间体(Ⅱ);在碱性条件下,中间体(Ⅱ)与丙烯酰氯或者甲基丙烯酰氯反应得到树脂单体(Ⅲ)。本发明提供的树脂单体与其它树脂单体聚合形成的聚合树脂具有更好的耐刻蚀性能,有利于改善显影后图形的边缘粗糙度,大大提高了光刻图案的分辨率。
搜索关键词: 甲基 氢化 萘二酮 合成 降解 光刻 树脂 单体 及其 方法
【主权项】:
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