[发明专利]晶圆级封装中球栅阵列毫米波宽带匹配结构及设计方法有效

专利信息
申请号: 202010564256.0 申请日: 2020-06-19
公开(公告)号: CN111696959B 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 朱浩然;李坤;吴博;吴先良 申请(专利权)人: 安徽大学
主分类号: H01L23/538 分类号: H01L23/538;H01L21/768
代理公司: 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 代理人: 丁瑞瑞
地址: 230000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 晶圆级封装中球栅阵列毫米波宽带匹配结构及设计方法,属于微波与毫米波封装电路系统技术领域,所述的微波介质基板上表面沿着x轴正方向依次连接的第一枝节信号线、多级阶梯阻抗谐振器、前端电路传输线;中心信号BGA焊球连接结构输出的毫米波信号,经过第一枝节信号线传输至多级阶梯阻抗谐振器实现宽带匹配,再由多级阶梯阻抗谐振器传输至前端电路传输线输出,实现了中心信号BGA焊球连接结构与前端电路传输线的宽带匹配,解决了三维晶圆级封装中硅通孔BGA互连阻抗补偿结构中的由于BGA焊球底部大小大于微波介质基板前端电路的信号线宽度而导致的硅通孔BGA互连阻抗补偿结构与前端电路信号线之间的阻抗的不匹配的问题。
搜索关键词: 晶圆级 封装 中球栅 阵列 毫米波 宽带 匹配 结构 设计 方法
【主权项】:
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