[发明专利]热处理的控制方法、装置及设备有效
申请号: | 202010564385.X | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN111781870B | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 宋兴亮 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05B19/042 | 分类号: | G05B19/042;B05D3/06 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 朱文杰 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请实施例公开了一种热处理的控制方法、装置及设备,用以解决现有的热处理配方执行效率低、耗时长的问题。该热处理的控制方法包括:判断热处理过程的当前待处理步骤与上一已处理步骤中的电机参数是否满足跳过执行设定操作的条件,电机参数包括电机速度、电机起点及电机终点;若满足跳过执行设定操作的条件,则跳过执行设定操作;确定当前待处理步骤与上一已处理步骤分别对应的热处理参数的不同参数值,并根据不同参数值对当前待处理步骤对应的热处理参数进行调整;在当前待处理步骤的计时开始时,基于调整后的热处理参数执行当前待处理步骤。该技术方案节省了热处理配方的整体执行时间,提高了热处理配方的执行效率。 | ||
搜索关键词: | 热处理 控制 方法 装置 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司,未经北京北方华创微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010564385.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种高密度高传输速率连接器
- 下一篇:一种腕关节康复角度测量装置及其测量方法