[发明专利]一种基于空间分光的形貌测量装置及方法在审
| 申请号： | 202010564425.0 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111678460A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 王丹;谢冬冬;赵晓东;李璟;齐月静;武志鹏;孟璐璐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于空间分光的形貌测量装置及方法。所述装置包括：沿光路顺次设置的照明模组、投影光栅模组、投影光学模组、探测光学模组、探测光栅模组、分光成像模组和数据采集模组；其中，在所述投影光学模组与所述探测光学模组之间的光学通路上设置待测样品，在所述探测光栅模组前设置偏振片和分光晶体，所述分光成像模组通过Wollaston棱镜实现分光。具有无差分信号时延、对测量装置内部热环境影响较小、后端解调电路简单等优点，有效降低测量装置对光强波动的敏感性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 空间 分光 形貌 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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