[发明专利]氢传感器及其生产方法、测量装置、和氢浓度的测量方法在审
| 申请号： | 202010566076.6 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN112114005A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | M·维恩耐克 | 申请（专利权）人： | 万腾荣有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及氢传感器(8)及其生产方法、测量装置(2)、和氢浓度的测量方法。用于测量环境(4)中的氢浓度的氢传感器(8)包括基材(10)，在基材上在与所述环境连通的传感器区域(12)中施加有作为薄膜的吸氢传感器介质(14)，其中传感器介质(14)取决于传感器介质(14)中的氢浓度而改变其体积，并且所述体积的变化引起基材(10)中由传感器介质(14)引入的机械应变的变化。的进一步开发氢传感器(8)在于基材(10)的至少传感器区域(12)内是压阻半导体。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 及其 生产 方法 测量 装置 浓度 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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