[发明专利]一种实现高速多幅成像的方法及光电成像器件有效

专利信息
申请号: 202010566113.3 申请日: 2020-06-19
公开(公告)号: CN111584333B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 刘玲玲;李赟 申请(专利权)人: 西安中科英威特光电技术有限公司
主分类号: H01J31/08 分类号: H01J31/08;H01J31/26;H01J31/28;H01J31/50
代理公司: 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 代理人: 吴林
地址: 710065 陕西省西安市高新区细*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明涉及光电成像器件技术领域,公开了一种实现高速多幅成像的方法及光电成像器件,方法包括以下步骤:S1、电子束在ps~μs时间段内经过光电成像器件的扫描系统时,扫描系统采用稳态扫描方式;电子束在时间间隔为ps~μs的相邻两段ps~μs时间内经过光电成像器件的扫描系统时,采用不同的稳态扫描电压;S2、不同时间段ps~μs内的电子束运动至光电成像器件的电子图像采集或显示部件的不同位置处,呈现不同的图像;相邻两段ps~μs之间的时间间隔为光电成像器件的时间分辨率,这种实现高速多幅成像的方法及光电成像器件,实现了具有ps~μs范围内时间分辨可调、实现高空间分辨率的分幅成像探测。
搜索关键词: 一种 实现 高速 成像 方法 光电 器件
【主权项】:
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