[发明专利]使用玻璃光楔分像的晶粒相邻面同时完全等光程共焦成像检测装置及方法在审
| 申请号： | 202010566382.X | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111595861A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 颜少彬;黄启禄;廖廷俤 | 申请（专利权）人： | 泉州师范学院 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;G01N21/03 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 林捷;蔡学俊 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于相邻面完全等光程共焦成像装置的基本结构原理，在相邻双面成像光路中分别采用玻璃光楔来实现半导体晶粒双面成像空间分离的检测新装置与方法，该新装置可以获得半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测，且无需使用偏振光学元件与偏振CMOS传感器（相机），有效降低了检测装置的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 玻璃 光楔分像 晶粒 相邻 同时 完全 光程 成像 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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