[发明专利]闸阀控制电路、抽真空设备以及真空室在审
| 申请号： | 202010566699.3 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111927748A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 朱宁炳;周娜;李琳;王佳;李俊杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B49/22 | 分类号： | F04B49/22;F04B49/06;F04B37/14;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种闸阀控制电路、抽真空设备以及真空室，涉及半导体制造设备领域，包括：电源和断路器，断路器与电源连接；电磁阀与断路器的负载端连接；断路器的负载端还用于与真空泵连接；电磁阀与闸阀控制连接；断路器根据真空泵的关闭，直接通过电磁阀控制闸阀。在上述技术方案中，该闸阀控制电路取消了泵控制器与阀门控制器之间常时运作信号(NOP)的传递，转而通过与供给真空泵电力的同一电源信号连接，当真空泵和电源之间的电力供给切断时直接向电磁阀发出控制信号，该控制信号自真空泵关闭至传递到电磁阀的过程仅需要不到0.1s的时间，与现有技术中常时运作信号(NOP)需要传递0.2s‑0.3s的时间相比，明显降低了信号的传递延时。 | ||
| 搜索关键词： | 闸阀 控制电路 真空设备 以及 真空 | ||
【主权项】：
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