[发明专利]一种超声辅助激光抛光陶瓷基复合材料的方法在审

专利信息
申请号: 202010567580.8 申请日: 2020-06-19
公开(公告)号: CN111716005A 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 梅雪松;张勇;凡正杰;刘斌;运侠伦;崔健磊;王文君;孙铮 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: B23K26/352 分类号: B23K26/352;B23K26/356;B23K26/354
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 贺建斌
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种超声辅助激光抛光陶瓷基复合材料的方法,先将SiC陶瓷基复合材料的加工样片表面研磨抛光,超声清洗;再将加工样片固定在超声辅助激光抛光加工装置上,移动平台使激光聚焦到起始加工位置;设置激光参数、振镜扫描参数、超声振动参数和XYZ高精密移动平台的运动参数,打开飞秒激光器和超声发生器,用调好的参数进行加工样片的超声辅助激光抛光加工;抛光完成后,对加工样片再次进行超声清洗;本发明将激光与超声两种加工方法相结合,充分利用了超声波的声流、空化等效应,解决了激光抛光过程中因等离子效应和颗粒粘附效应产生的重铸层、表面裂纹等缺陷的问题,优化了激光加工的进程,提高了材料去除率和抛光表面质量。
搜索关键词: 一种 超声 辅助 激光 抛光 陶瓷 复合材料 方法
【主权项】:
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