[发明专利]空间整形激光辅助刻蚀加工数值孔径可变微透镜的方法有效
| 申请号： | 202010567760.6 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111679349B | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;秦斌;李晓炜;刘洋 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种空间整形激光加工数值孔径可变微透镜的方法，属于激光应用技术领域。该方法兼顾加工质量、加工效率、形貌可控性，能够实现同种材料上最大范围的控制微透镜数值孔径。该方法采取空间相位整形得到的贝塞尔光束实现对玻璃改性，利用贝塞尔光束的高深径比特性，实现对改性深度的控制，根据数值孔径要求的不同，实现不同深度的改性，单个微透镜定点激光改性，无平移台移动，使用氢氟酸溶液对改性后的样品进行刻蚀，刻蚀后得到高质量数值孔径可控的微透镜加工。这种方法可以兼顾微透镜加工质量、效率、形貌控制，满足微透镜应用中对数值孔径的不同要求。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 整形 激光 辅助 刻蚀 加工 数值孔径 可变 透镜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京理工大学，未经北京理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010567760.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
