[发明专利]一种压力与水声集成传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010569153.3 | 申请日： | 2020-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN111537054B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 史晓晶;柳俊文 | 申请（专利权）人： | 南京元感微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01H3/00 | 分类号： | G01H3/00;G01H11/06;G01L9/04 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210032 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开提供一种压力与水声集成传感器及其制备方法，集成传感器包括：衬底，衬底包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，第一表面上设置第一背腔和第二背腔；顶盖，顶盖设置在第二表面上，顶盖上设置有贯穿其厚度的第一金属化过孔和第二金属化过孔，并且顶盖朝向衬底的一侧还设置有第一空腔和第二空腔，第一空腔和第二空腔分别对应第一背腔和第二背腔；在衬底上采用同步构图工艺形成压力传感单元和水声传感单元，压力传感单元与第一金属化过孔相连，水声传感单元与第二金属化过孔相连。本公开的集成传感器，将压力传感器与水声传感器进行集成，压力传感器与水声传感器的探头之间距离较小，减少水声传感器的背景噪声，提高水声测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力 集成 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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