[发明专利]一种提高石墨炉具清理效率的处理方法在审
| 申请号： | 202010569716.9 | 申请日： | 2020-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN111809164A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;张峰;吴思华;周清波 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 颜洪岭 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高石墨炉具清理效率的处理方法，该方法包括(1)石墨材质炉具机械加工控制表面粗糙度；(2)确定炉具上主要沉积部位；(3)对沉积部位的炉具表面进行粗抛光，控制一定的粗糙度；(4)粗抛后再进行精抛光，控制一定的粗糙度。本发明提高石墨炉具清理效率的处理方法，能够准确识别炉具表面涂层沉积部位，严格控制此类部位的表面粗糙度，通过降低表面粗糙度，在降低涂层与炉具表面的粘结性的同时又能保证涂层在炉内不会因自然剥落而影响产品的沉积；使炉具清理效率提高50％‑70％，炉具损耗速率降低30％‑50％，产品良品率提升1‑2倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 石墨 炉具 清理 效率 处理 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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