[发明专利]MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202010570740.4 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111757225B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 刘松;周宗燐;邱冠勋 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00;H04R7/10;H04R31/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 肖文静 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风。该MEMS芯片包括振膜和背极。所述背极与所述振膜相对设置，并与所述振膜形成电容器结构；所述振膜和所述背极的其中一个设有第一电磁线圈，所述振膜和所述背极的另一个设有磁性件，所述磁性件的一磁极朝向所述第一电磁线圈的一磁极设置，所述第一电磁线圈和所述磁性件相互朝向的磁极之极化方向相同。本发明技术方案旨在避免因振膜在振动过程中与背板发生粘接/吸附而导致的产品失效。 | ||
| 搜索关键词： | mems 芯片 及其 制作方法 麦克风 | ||
【主权项】：
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