[发明专利]具有高耐粘滞性的MEMS惯性传感器有效
| 申请号： | 202010570953.7 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN112114163B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | G·加特瑞;F·里奇尼;A·托齐奥 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及具有高耐粘滞性的MEMS惯性传感器。一种惯性结构通过第一弹性结构弹性耦合到支撑结构，从而根据待检测量沿着感测轴线移动。惯性结构包括第一惯性质量块和第二惯性质量块，第一惯性质量块和第二惯性质量块由第二弹性结构弹性耦合在一起，以使得第二惯性质量块能够沿着感测轴线移动。第一弹性结构具有比第二弹性结构的弹性常数低的弹性常数，从而使得在存在待检测量的情况下，惯性结构在感测方向上移动，直到第一惯性质量块抵靠在停止结构为止，并且第二弹性质量还可以在感测方向上移动。一旦结束检测量，第二惯性质量块就在与感测方向相对的方向上移动，并且使第一惯性质量块从停止结构分离。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 高耐粘滞性 mems 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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