[发明专利]掩膜板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202010571480.2 申请日: 2020-06-22
公开(公告)号: CN111769214B 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 陈奎;陈永胜 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L27/32;C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 远明
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请公开了一种掩膜板及其制作方法,所述掩膜板包括:外框;第一遮挡层,设置于所述外框上,所述第一遮挡层具有多个第一开口;第二遮挡层,可拆卸地设置于所述第一遮挡层上,所述第二遮挡层具有多个第二开口,且所述多个第二开口与所述多个第一开口一一对应,所述多个第二开口中每一者的面积均小于或等于其对应的所述第一开口的面积;相比于现有技术,本申请提供的掩膜板可满足同一掩膜板进行不同尺寸的面板的制作,减小了制作掩膜板的成本以及时间,提高了工艺效率。
搜索关键词: 掩膜板 及其 制作方法
【主权项】:
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