[发明专利]高安全的芯片封装结构及封装方法有效
申请号: | 202010572609.1 | 申请日: | 2020-06-22 |
公开(公告)号: | CN111681996B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 朱春生;严迎建;郭朋飞;张立朝;刘军伟;徐劲松;钟晶鑫 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军战略支援部队信息工程大学 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/60 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 姚璐华 |
地址: | 450001 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种高安全的芯片封装结构及封装方法,通过在半导体衬底上制备埋置槽,并在埋置槽底部制备第一金属屏蔽层,将芯片置于埋置槽中,第一金属屏蔽层结合再布线层中的第二金属屏蔽层,共同构成针对芯片的三维立体金属屏蔽网,对芯片提供了高安全防护,从而实现高安全的芯片封装结构。本发明技术方案能够对芯片提供三维立体的物理防护,有效抵御针对芯片的物理入侵攻击。同时,三维立体金属屏蔽网结构也能够将芯片与外界进行电磁信号的隔离,一方面对芯片工作时产生的电磁辐射信号进行屏蔽,增强芯片抵御电磁侧信道攻击的能力,另一方面,也减小了外界电磁信号对芯片正常工作的干扰,提高了芯片工作的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 安全 芯片 封装 结构 方法 | ||
【主权项】:
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