[发明专利]一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统及方法在审
| 申请号： | 202010572849.1 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111661827A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 冉祎;王琴;罗轩;曹建明 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068;C04B35/626;C04B35/584;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 614800 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅还原尾气中硅粉的回收利用系统及方法，该回收利用系统包括依次连接的主过滤器和残液过滤器，所述残液过滤器的硅粉出口连接有氮化炉，氮化炉的出口连接研磨器。本发明通过主过滤器和残液过滤器的配合过滤，提高残液过滤器内烘干液体的固含量，不仅可以减少烘干能耗，而且可以加强烘干效果。相对现有的硅渣回收方法，本发明方法中分离出的硅粉表面基本无硅烷残留，活性高，可直接入氮化炉用于氮化硅粉的制作，回收利用价值高。本发明能耗低，烘干效果好，出过滤器的硅粉活性高，可直接回用，同时将价值低的硅粉变成了附加值更高的氮化硅产品，提高了多晶硅还原反应副产物的经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 尾气 中硅粉 回收 利用 系统 方法 | ||
【主权项】：
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