[发明专利]具有摄像侦测装置的机械手臂组件及半导体生产设备有效
| 申请号： | 202010573208.8 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN111687861B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有摄像侦测装置的机械手臂组件及半导体生产设备，机械手臂组件包括：机械手臂，机械手臂包括：传送基座、固定架及插片；摄像侦测装置，用于对晶圆盒或晶舟中的晶圆进行摄像，以获得晶圆盒或晶舟中晶圆的排布实像，依据获取的晶圆的排布实像对晶圆盒或晶舟中的晶圆进行计数，并依据计数时间间隔获取相邻晶圆之间的间距。本发明的机械手臂组件通过设置摄像侦测装置可以获取晶圆的排布实像，并结合计数获取的相邻晶圆之间的间距，可以将晶圆之间毫米级的差异检测出来，具有较高的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 摄像 侦测 装置 机械 手臂 组件 半导体 生产 设备 | ||
【主权项】：
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