[发明专利]电容式微机械加速度计有效
| 申请号： | 202010573949.6 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN112230018B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 绀野彰;加藤良隆;维莱-佩卡·吕特克宁 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 唐京桥;姚文杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及电容式微机械加速度计，并且特别地涉及具有可移动的转子的加速度传感器，当加速度计以垂直于基板平面的加速度分量进行移动时，所述可移动的转子可以旋转离开基板平面。电容式微机械加速度计包括附加的阻尼弹簧以减少转子在基板平面中的不需要的移动，从而减小由转子在基板平面中的运动引起的寄生电容。阻尼弹簧相对于加速度计的其他部件竖直地凹入，以使阻尼弹簧对转子离开基板平面的运动的影响最小化。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 机械 加速度计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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