[发明专利]一种基于区域调制技术的激光扫描装置及扫描方法有效

专利信息
申请号: 202010574216.4 申请日: 2020-06-22
公开(公告)号: CN111805099B 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 王自;赵华龙;王顺录;黄鑫 申请(专利权)人: 西安中科微精光子制造科技有限公司
主分类号: G02B26/10 分类号: G02B26/10;B23K26/382;B23K26/06;B23K26/082
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 魏毅宏
地址: 710119 陕西省西安市高*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种基于区域调制技术的激光扫描装置及扫描方法,包括以下步骤:激光发生组件中的激光器发射激光光束,经光路传输模块进行光束传输、整形,然后射向光束扫描组件的光束扫描模块;所述光束扫描模块进行光束扫描轨迹规划及扫描区域规划并将扫描轨迹及扫描区域规划传输至光束扫描控制模块,所述光束扫描控制模块结合扫描轨迹和激光器的实时输出功率进行实时规划及控制;光束扫描控制模块通过控制光束扫描模块实现已穿透区域关光、未穿透区域开光功能,避免加工时对壁的损伤。本发明实现了光束轨迹扫描位置与激光器能量之间的匹配,能够改善孔型形貌及加工质量,防止对壁损伤。
搜索关键词: 一种 基于 区域 调制 技术 激光 扫描 装置 方法
【主权项】:
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