[发明专利]半导体工艺执行方法和半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202010579171.X | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN111783172A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 靳双豪 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F21/79 | 分类号： | G06F21/79;G06F9/448;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体工艺执行方法，应用于半导体工艺设备中，其特征在于，包括：接收当前工艺对应的工艺配方并存储在本地；接收所述当前工艺的工艺信息，创建工艺任务，其中，所述工艺信息包括所述工艺配方的名称；将所述工艺配方及所述工艺信息存储至内存中；删除本地存储的所述工艺配方；基于所述工艺信息调用所述工艺配方，执行所述工艺任务。在本发明中，上位控制装置在接收到工艺配方后，直接将该工艺配方从本地转移至内存中，并删除本地存储的工艺配方，操作人员无法通过上位控制装置的操作系统读取或更改存储在内存中的工艺配方，进而提高了工艺配方的保密性和半导体生产工艺的安全性。本发明还提供一种半导体工艺设备。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 工艺 执行 方法 工艺设备 | ||
【主权项】：
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