[发明专利]对MEMS反射镜的机械冲击检测以及相位和频率校正在审
| 申请号： | 202010579755.7 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN112130164A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | P·施特尔策;N·德鲁梅尔;C·施特格;A·施特拉塞尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01S17/14 | 分类号： | G01S17/14;G01S17/894;G01S7/497;G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 黄倩 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例总体上涉及对MEMS反射镜的机械冲击检测以及相位和频率的校正。一种用于驱动微机电系统(MEMS)振荡结构的系统包括：相位误差检测器，被配置为基于围绕旋转轴线振荡的MEMS振荡结构的测量的事件时间和预期的事件时间来生成相位误差信号；干扰事件检测器，被配置为基于相位误差信号和干扰阈值来检测干扰事件；以及相位频率检测器(PFD)和校正电路，被配置为响应于检测到的干扰事件，监测围绕旋转轴线振荡的MEMS振荡结构的多个测量的越过事件，并且基于至少一个第一测量的越过事件和第二测量的越过事件生成第一补偿信号来校正MEMS振荡结构的频率，并且基于第三测量的越过事件生成第二补偿信号来校正MEMS振荡结构的相位。 | ||
| 搜索关键词： | mems 反射 机械 冲击 检测 以及 相位 频率 校正 | ||
【主权项】：
暂无信息
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