[发明专利]一种块体金属样品的透射电镜原位加热芯片的制样方法在审

专利信息
申请号: 202010580400.X 申请日: 2020-06-23
公开(公告)号: CN111650227A 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 王双宝;魏波;韩相彬;刘玉莹 申请(专利权)人: 广西大学
主分类号: G01N23/20008 分类号: G01N23/20008;G01N23/20058
代理公司: 广州博士科创知识产权代理有限公司 44663 代理人: 马天鹰
地址: 530004 广西壮族*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明公开一种块体金属样品的透射电镜原位加热芯片的制样方法,包括以下步骤:1)块体金属透射电镜样品获取;2)TEM成像记录;3)样品转移前的保护;4)样品的切割和转移;5)样品的清洗。本发明能减少传统金属样品的透射电镜原位加热芯片的制样步骤,节约制样时间和成本,提升制样的效率,避免FIB样品制备过程中,将样品用Pt焊接到微操作手时Pt原子沉积到样品表面,防止样品较薄时Ga离子注入样品而引起结构损伤。
搜索关键词: 一种 块体 金属 样品 透射 原位 加热 芯片 方法
【主权项】:
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