[发明专利]一种块体金属样品的透射电镜原位加热芯片的制样方法在审
申请号: | 202010580400.X | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN111650227A | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 王双宝;魏波;韩相彬;刘玉莹 | 申请(专利权)人: | 广西大学 |
主分类号: | G01N23/20008 | 分类号: | G01N23/20008;G01N23/20058 |
代理公司: | 广州博士科创知识产权代理有限公司 44663 | 代理人: | 马天鹰 |
地址: | 530004 广西壮族*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明公开一种块体金属样品的透射电镜原位加热芯片的制样方法,包括以下步骤:1)块体金属透射电镜样品获取;2)TEM成像记录;3)样品转移前的保护;4)样品的切割和转移;5)样品的清洗。本发明能减少传统金属样品的透射电镜原位加热芯片的制样步骤,节约制样时间和成本,提升制样的效率,避免FIB样品制备过程中,将样品用Pt焊接到微操作手时Pt原子沉积到样品表面,防止样品较薄时Ga离子注入样品而引起结构损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 块体 金属 样品 透射 原位 加热 芯片 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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